特氣及GC特氣柜和特氣系統常識性問題合集

特氣，又名特種氣體，是一種基礎化工原料，大多是易燃易爆、有毒、有腐蝕性、純度特別高（超過99.999%）的氣體，用來滿足特定需求如芯片制程等。至于如何界定屬不屬于特氣范疇，對于我們行業內來說，主要看的是純度。

特種氣體(Specialtygases)門類繁多，通?？蓞^分為電子氣體，標準氣，環保氣，醫用氣，焊接氣，殺菌氣等。

5N：99.999% ，氣體純度達到5個nine；

6N：99.9999% ，氣體純度達到6個nine。

廣泛上來說危險性很大，因為特種氣體大多是危險性氣體，如高純氯氣CL2擁有劇毒性，人體吸入過量高純氯氣會引起呼吸道損傷，嚴重時會引起急性肺水腫，搶救不當可能會造成窒息死亡。但是只要你的技術過硬，經驗足夠，按照規定的操作規范進行安全操作一般問題不大，這也是為什么特氣系統工程的安裝公司需要資質的原因。

GC特氣柜是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險特種氣體供應而設計的供應系統設備，主要用于特種氣體的高純度安全穩定輸送。

特氣柜按類別分全自動、半自動和手動操作。

其中全自動GC特氣柜按功能設計可分為 單鋼瓶(1process)/ 雙鋼瓶( 2 Process ) / 三鋼瓶(2 Process + 1 N2) 氣瓶柜內的鋼瓶數設計可分為三種：分別為單鋼瓶、雙鋼瓶、三鋼瓶。

（1） 單鋼的設計通常使用于研究機構或實驗室等。工藝制程尚未有量產，氣體使用量小，現場可隨時協調停機進行鋼瓶之更換，其優點節省空間、成本低、但需透過日常之管理與協調以免中斷工藝制程造成損失。

（2） 雙鋼與三鋼常用于量產工廠，工藝制程不允許停機情況，當一支鋼瓶使用完后，另一支備用鋼瓶（stand by）會自動轉為供氣，此兩種形式最大的差別是在purge管路的純化氮氣是以鋼瓶或廠務端供應，當purge用的PN2統一由廠務端來供應時，所有特殊氣體供應系統不管是否相容，全部連接到同一個供應源，會有較高的風險值；萬一中央供應系統的PN2中斷，警報系統又損壞，恰巧兩種不相容的氣體同時使用purge，此時極有可能發生爆炸的事件發生，相同性質可使用同一瓶鋼瓶來purge增加的成本及空間非常有限，是一種非常好的應變方式。

（3） 三鋼氣柜成本不會差很多安全性會是最好的，只要空間允許應最優先選擇。

全自動特氣柜（Gas Cabinet ）基本功能包括自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷（當設定報警信號被觸發時）。采用PLC控制，觸控屏為人機界面，通過設備安裝的壓力傳感器、氣動閥、過流量計等裝置，實現設備安全有效的運行。其內部PLC程式設計的安全聯鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局，既滿足了半導體工藝生產過程中對特殊氣體連續供給和高純度的要求，同時也確保了工廠正常生產和員工人身安全。

因特種氣體的特殊性，承載特種氣體的氣瓶柜體須為防爆柜體，同時為保證半導體制程工藝中特種氣體的穩定供氣和安全，應具備多種功能，如柜內氣體泄漏偵測報警、PLC面板控制、全自動吹掃等，提高使用安全系數，有效的保護生產安全和人員的生命安全。其次，半導體行業配置電子特氣柜需要擁有SEMI S2認證。

SEMI S2的對象是針對半導體制程設備的，是關于環境、健康、安全方面的標準，也即為EHS標準，因為半導體行業涉及到很多特種氣體、化學品及電氣、游離及非游離的輻射，如果處理不好，下游用戶在使用的時候就很容易導致事故甚至災難，因此對設備廠商的設備產品如電子特氣柜，擁有SEMI S2認證就顯得極端重要。

特種氣體的儲存、輸送與分配過程的設備、管道和部件都總稱則稱為特氣系統，是用于實現特氣安全使用的氣體系統工程。

特氣系統由供氣端（CF4是氣體鋼瓶供氣）、GC特氣柜/GR特氣架、氣體閥門分配箱VMB/VMP、耐腐蝕的316L EP不銹鋼管道和氣體監測報警系統等組成。

特氣系統廣泛電子工業領域，因為電子特種氣體是光電子、微電子等領域，特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基礎性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性。

主要看使用需求和工藝需求。

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